99. 5% ความบริสุทธิ์สูง PSA เครื่องผลิตออกซิเจนสําหรับการผลิตครึ่งตัว PSA ความบริสุทธิ์โรงงานออกซิเจน

เครื่องผลิตออกซิเจน PSA(เครื่องผลิตออกซิเจนสวิงดัน) เป็นอุปกรณ์ที่สะอาดสําคัญในอุตสาหกรรมการผลิตครึ่งตัวมันบรรลุการทําความสะอาดลึกผ่านเครื่องเจาะโมเลกุลชั้นสอง (เครื่องเจาะโมเลกุลทั่วไป + เครื่องเจาะโมเลกุลความบริสุทธิ์สูง) เพื่อผลิตออกซิเจนความบริสุทธิ์สูงที่มีปริมาณมากกว่า 990.5%

มันมีข้อดีหลัก เช่น ความบริสุทธิ์ที่มั่นคง ความสะอาดสูง การทํางานที่น่าเชื่อถือ และการปล่อยปนเปื้อนที่สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดสําหรับความบริสุทธิ์และความสะอาดของออกซิเจนในกระบวนการ เช่น การออกซิเดชั่นและการฝากหนังบางระหว่างการผลิตครึ่งตัวนําในฐานะการตั้งค่าชั้นบนสําหรับPSA ความบริสุทธิ์ของโรงงานออกซิเจน, ภาวะจาง (ไนโตรเจน, ความชื้น, ก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์, ฯลฯ) ในออกซิเจนที่ผลิตโดยอุปกรณ์นี้ทั้งหมดถูกควบคุมต่ํากว่าระดับ ppmการหลีกเลี่ยงการลดผลิตชิปที่เกิดจากความบริสุทธิ์ของออกซิเจนที่ไม่เพียงพอเป็นอุปกรณ์ประกอบอ๊อกซิเจนหลักที่จําเป็นสําหรับการผลิตครึ่งประสาท

การผลิตครึ่งตัวนําแสดงถึงจุดสูงสุดของการผลิตความแม่นยํา โดยกระบวนการชิปได้เข้าสู่ขนาดนาโนเมตร (5nm, 3nm)ความเสื่อมของผลงาน, หรือการลดผลผลิต ไอน้ําออกซิเจนถูกใช้เป็นหลักในกระบวนการหลัก เช่น การออกซิเดชั่น (สร้าง SiO2 แผ่นกั้น) และการฝากควันทางเคมี (CVD) ในการผลิตครึ่งประสาทความบริสุทธิ์ของออกซิเจนมีผลโดยตรงต่อความเหมือนกันของความหนาชั้นกันหนา, ความแน่นของฟิล์ม และผลงานไฟฟ้าของชิป

ออกซิเจนประเภทอุตสาหกรรมทั่วไป (93% ความบริสุทธิ์) มีสารสกปรก เช่น ไนโตรเจนและความชื้นที่สามารถสร้างความบกพร่องบนพื้นผิวชิป, นําไปสู่การลดผลิต 10-20%; ในส่วนที่ตรงกันข้าม, 99.ไอน้ําออกซิเจนความบริสุทธิ์สูง 5% สามารถควบคุมปริมาณสารสกปรกต่ํากว่าระดับ ppm, ป้องกันการเกิดความบกพร่องอย่างมีประสิทธิภาพและรับประกันผลผลิตชิปให้คงที่มากกว่า 90%เครื่องผลิตออกซิเจน PSAสามารถกําจัดสารสกปรกอย่างลึกซึ้ง เช่น ไนโตรเจน ความชื้น และคาร์บอนไดออกไซด์จากอากาศPSA ความบริสุทธิ์ของโรงงานออกซิเจนความแม่นยําในการควบคุมเกินกว่าอุปกรณ์การผลิตออกซิเจนแบบดั้งเดิมมาก และตอบสนองความต้องการของกระบวนการการผลิตครึ่งตัวนําอย่างอย่างเต็มที่

นอกจากนี้ การผลิตครึ่งตัวนํามีความต้องการที่สูงมากสําหรับความสะอาดของออกซิเจน ก๊าซออกของเครื่องต้องตอบสนองการจัดอันดับห้องสะอาดชั้น 100 (ไม่เกิน 100 ชิ้นส่วน ≥ 0.5μm ต่อกว้างของอากาศ).เครื่องผลิตออกซิเจน PSAมีระบบกรองก๊าซประสิทธิภาพสูง สามารถกรองอนุภาคเล็ก ๆ ในออกซิเจน เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของอนุภาคบนพื้นผิวชิป และยังการันตีคุณภาพชิป

เมื่อซื้อเครื่องผลิตออกซิเจน PSA, ธุรกิจครึ่งตัวนําต้องยึดหลักการหลักสี่หลัก: "ความบริสุทธิ์ที่มีคุณสมบัติ, ความเหมาะสมกับห้องสะอาด, ความมั่นคงและความน่าเชื่อถือ, และคุณสมบัติของผู้จําหน่ายที่สมบูรณ์แบบ"

• ในแง่ของความบริสุทธิ์, มันจําเป็นต้องเลือกอุปกรณ์ที่มีความบริสุทธิ์ของออกซิเจน ≥ 99.5% และมีสารสกปรกที่ตอบสนองความต้องการของกระบวนการครึ่งตัวนําและต้องการให้ผู้จัดจําหน่ายให้รายงานการทดสอบจากฝ่ายที่สาม (เช่น SGS, ITS)
• ในแง่ของความเหมาะสมกับห้องสะอาด จําเป็นต้องยืนยันว่าความสะอาดของก๊าซออกของอุปกรณ์ ≥ ประเภท 100 และกระเป๋าอุปกรณ์ตอบสนองความต้องการในการติดตั้งห้องสะอาด
• ในแง่ของความมั่นคงและความน่าเชื่อถือ ควรให้ความสําคัญกับสินค้าที่มีเวลาการทํางานต่อเนื่อง ≥ 8,000 ชั่วโมง/ปี และการรับประกันสําหรับส่วนประกอบหลัก ≥ 3 ปี
• คุณสมบัติของผู้จัดจําหน่ายมีความสําคัญโรงงานออกซิเจนที่ใช้ PSAคุณสมบัติการผลิต, การรับรองระบบการจัดการคุณภาพ ISO9001 และการรับรองอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําที่เกี่ยวข้อง (เช่นการรับรอง SEMI)และต้องการให้พวกเขานําเสนอกรณีที่ประสบความสําเร็จในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา

การบริการหลังการขายต้องตอบสนองความต้องการสูงของอุตสาหกรรมครึ่งนําทาง ผู้จัดจําหน่ายควรสามารถให้การสนับสนุนทางเทคนิค 24/7 การบํารุงรักษาในสถานที่เป็นประจําและการจําหน่ายอะไหล่อย่างรวดเร็ว เพื่อให้อุปกรณ์ทํางานได้อย่างมั่นคงในระยะยาว.

ด้วยข้อดีของความบริสุทธิ์สูง 99.5%เครื่องผลิตออกซิเจน PSAกลายเป็นมาตรฐานสําหรับการจัดส่งออกซิเจนที่สะอาด ในการผลิตครึ่งตัวนําและการทํางานที่มั่นคงสามารถให้การสนับสนุนการจัดส่งออกซิเจนที่น่าเชื่อถือได้สําหรับกระบวนการครึ่งตัวนํา, ทําให้มันเป็นอุปกรณ์สําคัญสําหรับบริษัทผลิตชิป เพื่อปรับปรุงผลผลิตและลดต้นทุน